Sentaurus功率器件工艺仿真校准模型(AdvancedPowerDeviceMode)
对于功率器件的工艺仿真,在Sentaurus Process中,可以通过调用AdvancedPowerDeviceMode模块,在不影响仿真准确性的情况下,加快仿真速度,减少20%~40%的仿真时间(参考官方手册描述)。功率器件的工艺仿真最费时间的就是高温长时间的热过程(氧化和退火),需要的计算量很大,而这个过程一般掺杂浓度较低(远低于固溶度),所以可以考虑关闭一些高掺杂浓度的相关模型。在AdvancedCalibration的AdvancedPowerDeviceMode模块中,可以看到,AdvancedPowerDeviceMode是通过关闭clusters相关物理模型,同时适当放宽一些计算步长,来实现降低计算量的效果。当需要仿真高掺杂浓度(欧姆接触相关)的工艺步骤时,就可以通过AdvancedPowerDeviceModeReset来关闭AdvancedPowerDeviceMode,也就是把之前改的设置调回默认值。调用方法首先AdvancedPowerDeviceMode是属于AdvancedCalibration的其中一个模块,所以首先需要先调用AdvancedCalibration,然后调用AdvancedPowerDeviceMode,最后利用AdvancedPowerDeviceModeReset命令手动关闭
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AdvancedCalibration 2018.06 AdvancedPowerDeviceMode source ./mycalib.fps ... ;# first part of process AdvancedPowerDeviceModeReset ... ;# second part of process当然也可以通过设置掺杂剂量的阈值来自动关闭AdvancedPowerDeviceMode,当高于这个阈值,就不会调用AdvancedPowerDeviceMode,这样就不需要手动关闭了。
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AdvancedCalibration 2018.06 AdvancedPowerDeviceMode 1e14 source ./mycalib.fps ... ;# first part of process ... ;# second part of process官方手册中还提到一些优化方法,但存在一些问题,所以没有包含进AdvancedPowerDeviceMode中去。最后,这个AdvancedPowerDeviceMode是和AdvancedCalibration默认的校准设置作对比的,所以如果你本身的工艺校准设置已经比AdvancedPowerDeviceMode的还要宽松,那么可能并不会起到加快仿真速度的效果,甚至会起反效果,具体就要自己测试了。
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