Sentaurus功率器件工艺仿真校准模型(AdvancedPowerDeviceMode)

hdy

对于功率器件的工艺仿真，在Sentaurus Process中，可以通过调用AdvancedPowerDeviceMode模块，在不影响仿真准确性的情况下，加快仿真速度，减少20%~40%的仿真时间(参考官方手册描述)。

功率器件的工艺仿真最费时间的就是高温长时间的热过程（氧化和退火），需要的计算量很大，而这个过程一般掺杂浓度较低（远低于固溶度），所以可以考虑关闭一些高掺杂浓度的相关模型。

在AdvancedCalibration的AdvancedPowerDeviceMode模块中，可以看到，AdvancedPowerDeviceMode是通过关闭clusters相关物理模型，同时适当放宽一些计算步长，来实现降低计算量的效果。

当需要仿真高掺杂浓度（欧姆接触相关）的工艺步骤时，就可以通过AdvancedPowerDeviceModeReset来关闭AdvancedPowerDeviceMode，也就是把之前改的设置调回默认值。

调用方法

首先AdvancedPowerDeviceMode是属于AdvancedCalibration的其中一个模块，所以首先需要先调用AdvancedCalibration，然后调用AdvancedPowerDeviceMode，最后利用AdvancedPowerDeviceModeReset命令手动关闭

• 
  

AdvancedCalibration 2018.06 AdvancedPowerDeviceMode source ./mycalib.fps ...           ;# first part of process AdvancedPowerDeviceModeReset ...           ;# second part of process

当然也可以通过设置掺杂剂量的阈值来自动关闭AdvancedPowerDeviceMode，当高于这个阈值，就不会调用AdvancedPowerDeviceMode，这样就不需要手动关闭了。

• 
  

AdvancedCalibration 2018.06 AdvancedPowerDeviceMode 1e14 source ./mycalib.fps ...           ;# first part of process ...           ;# second part of process

官方手册中还提到一些优化方法，但存在一些问题，所以没有包含进AdvancedPowerDeviceMode中去。

最后，这个AdvancedPowerDeviceMode是和AdvancedCalibration默认的校准设置作对比的，所以如果你本身的工艺校准设置已经比AdvancedPowerDeviceMode的还要宽松，那么可能并不会起到加快仿真速度的效果，甚至会起反效果，具体就要自己测试了。