Track中的冷板与热板（一）

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一、Track中的冷板与热板冷板的作用，主要是冷却制程中的晶圆；热板的功众多，有蒸发溶剂，形成稳定的光刻胶薄膜；有增强光酸反应；有硬化光刻胶。Track中的热板，种类众多，名字起得让人眼花缭乱，如下表！

但，一切都是纸老虎，听小编慢慢说来，逃不出这三句话！（仔细体会）第一，有热板的后面必紧跟着冷板；第二句话，热板出现的三个地方，涂胶后（softbake），曝光后（post expose bake），显影后（hardbake）；第三句话，区分同类热、冷板，无非是冷却速度、冷却方式、温度精度。冷却速度体现在升降温快慢，冷却方式体现在是接触式烘烤，还是非接触式烘烤，冷却精度体现在不同的温度设置范围，温度在整片晶圆的range。如果，你是行内人，这三句话一定能与你共振，让读者忍不住转发！！二、热板详细介绍


三、热板管道系统


（简单概括就是调节shutter，pin，温度，exhaust）