Litho Bridege Defect

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一、什么是光刻的“Bridge Defect”

“Bridge”一词在英文译为“桥梁”，在光刻区域呢，Bridge defect指的是光阻的桥连缺陷，造成这种缺陷的原因今天先讲一种，即由于COT造成的。请看好我写的字，今天先讲一种原因，切莫以偏概全，其它原因也可以造成。

要注意这种缺陷跟Defocus以及显影residue是不太一样的。所以这就是大佬厉害的地方，细致入微，明察秋毫，为什么有的工程师查case一下就能查到root cause，有的工程师忙活很久，不但case解不了，而且制造很多不必要的麻烦，仔细品一下，一定要多学习，多思考，才能提高业务水平的。

二、COT是怎么造成"Bridge Defect“的？

我觉得看到我这篇文章的人，无论是从事光刻的工程师，还是整合工程师，以及科研人员，这些都有借鉴意义，因为这些都是我拿出的干货，懂行的读者自然能知道我写文章的水平与意义，我写这些的目的，是为了帮助别人，也是帮我自己。

我来总结一下原因，这些原因大致包括以下：

1）光阻管路微起泡导致;

2)Tool long down，或者该管路的光阻长时间没用，导致光阻异常；

3）光阻Filter有问题；

4）光阻Nozzle头有问题；

三、遇到这种缺陷，我们怎么办？

[1]针对问题1）、2）进行Bubble remove动作，Purge，Vent，dummy several times

[2]针对问题3）、4）有问题的统统换掉就行，简单粗暴。