Sentaurus TCAD中sprocess和sde坐标轴转换

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在Sentaurus TCAD中，有时需要将sprocess生成的结构导入到sde中或者将sde的结构导入到sprocess中，但是，sprocess和sde默认的坐标轴是不一样的，以2D图为例，sprocess是以横轴为Y轴，纵轴为X轴，而sde以横轴为X轴，纵轴为Y轴，所以需要先调整一下坐标轴。

sprocess坐标(横轴为Y轴，纵轴为X轴)

sde坐标(横轴为X轴，纵轴为Y轴)

转换坐标轴需要用到Sentaurus Data Explorer这个工具，使用命令行运行。

要将sprocess坐标转化为sde坐标，使用命令

tdx -ts -tr origin_fps.tdr output_fps.tdr

oring_fps.tdr是原始需要转化的结构文件，output_fps.tdr是转化后的结构文件。

如果要在sprocess这个工具中调用，使用命令

exec tdx -ts -tr origin_fps.tdr output_fps.tdr

反之，将sde坐标转化为sprocess坐标，使用命令

tdx -ts -sp origin_msh.tdr output_msh.tdr

在sde工具中调用，使用命令

(system:command "tdx -ts -sp origin_msh.tdr output_msh.tdr ")

如果不输入output的tdr名字这个参数也可以，默认以输入的原文件后面加上_out后缀作为输出文件名字

参考资料

Sentaurus Data Explorer User Guide  Version O-2018.06 Synopsys