于洪宇：通往“中国芯”的造梦者

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“真正能把自己做科研的东西转变到实际的社会应用中，这是我这么多年一直以来的想法和初衷。”南方科技大学深港微电子学院院长于洪宇教授说。于洪宇二十多年前毕业于清华大学，在清华接受的学术训练给他留下了深刻的烙印。回忆清华岁月，于洪宇发出了“不忘初心，方得始终”的感慨。

五年本科生涯打下了深刻“清华烙印”
1994年，于洪宇迈入了清华园的大门，在材料科学工程系度过了五年的本科生涯，此后赴海外留学。
于洪宇回忆，从工程专业来看，当时清华大学的教育模式中，导师与企业界、工业界的联系是很多的。虽然资源没有现在这么多，但那种思维方式给了他很大的启示。
“在那时,我就希望可以做一些东西，虽然谈不上去影响人类社会，但是,最起码可以对社会产生直接价值，这是非常吸引我的。”在他看来，工程学科是一种能够直接转变成经济价值、有市场需求的实用性学科。把自己所学的知识转变成技术,再直接造福现实社会，这种理念也正是来自清华。“清华这种做事的方式、思维的方式，对我们后来的成长都有着很深的影响。”于洪宇说。
在清华时，他印象最深的是被称为“东操”“西操”的操场。“当时，因为每天早上都被要求去跑操，校园广播里还会播放清华体育精神的口号‘争取至少为祖国健康工作50年’，那种气氛给我的印象很深。而且清华体育锻炼的强度非常大，也为身体打下了很好的底子。”
关于学术训练，于洪宇并没有觉得科研有特别苦和累的时候，他是规划性比较强的学者，每天的工作也都在计划当中，按部就班地开展。
“清华人给人的感觉就是有一种‘高调做事，低调做人’的特点。大多数清华人自己不爱出名，很多事情并不是为了自己出名或者非要去挑头，但这个事情本身有意义的话，我们愿意去实实在在地推动。”于洪宇表示。
成为南科大第一个签约正教授
1999年毕业时，材料科学工程那一届本科生中大概三分之一选择出国深造，三分之一在国内读研，三分之一就业。“这个结构与现在的南科大有点像。”
2011年到南科大之后，于洪宇还发现这里许多与清华类似的地方。“我们能感受到学校与企业之间的紧密联系。当然，现在的大学资源比以前要广得多。”
为半导体产业卷起澎湃“芯”潮
“当今，全球半导体产业格局正发生深刻变化，后摩尔时代半导体技术加速变革创新，我国集成电路产业发展迎来了新机遇。”在2019年南科大“现代科技与家国情怀”特色思政课上，于洪宇用“中国芯世界梦”为题，为同学们讲述了“中国芯”的研发故事。
自从归国以来，“中国芯”的研发，就成为了于洪宇最关注的事。
“深港微电子学院力争通过5至10年的努力，在集成电路部分领域达到世界领先或先进水平，从而支撑国家级平台建设及粤港澳大湾区集成电路产业快速和可持续性发展，支撑我国集成电路产业的自主创新发展。”在那场讲座上，他如是说。如今，学院建有一流的科研平台，微纳工艺研发平台和IC设计与测试平台，聚焦集成电路设计方法学、集成电路芯片设计、集成电路制造与工艺、微纳系统与集成四大研究方向展开科学研究，在科研领域已获得多个国家级和省市级资质，包括国家示范性微电子学院（全国28家，华南地区仅有3家），广东省GaN器件工程技术研究中心，广东省三维集成工程研究中心和深圳市第三代半导体器件重点实验室。
于洪宇带领课题组早期重点研发GaN功率器件，近两年着手开发GaN射频器件，不同于主流SiC上GaN器件，特色是Si基GaN器件，这在国内外都是发展较慢却有利于未来大规模市场化的结构。在单步工艺，如欧姆接触、器件表面钝化与栅极工艺都有相关成果已经发表，有些工艺甚至具有国际领先水平。
团队在AlGaN/GaN HEMT器件研究方面取得系列进展也为行业所关注，相关成果在国际微电子器件权威期刊IEEE Electron Device Letters、IEEE Transactions on Electron Devices及IOP Semiconductor Science and Technology 上发表，其研究与优化所催生的创新工艺有望实现常关型射频器件，实现产业化突破。
深港微电子学院挂牌了“国家5G中高频器件制造业创新中心”，又率先获批“未来通信集成电路教育部工程研究中心”。如今，这里已经成为集成电路产业自主创新发展的湾区高地。
立足区域，于洪宇认为：“发展集成电路，深圳要立足特色和优势产业，做好通信、物联网、人工职能、光电、医疗设备等产业存量的核心技术研发和升级；要利用粤港澳大湾区的区位优势，做好相关产业链的区域完善和强化，制定优惠政策支持产业链合作和芯片应用，并联合服务于内地；此外，要高标准建设半导体集成电路产业集聚园区和公共服务平台，占领布局先机；建立一条完全自主的国产设备和材料以及工艺技术的生产线，担当起国产设备和材料的验证和通线任务，对深圳和国家而言都意义重大。”虽然任重道远，但于洪宇信心满满：“我相信，我们正在迎来一个好的发展时机。”

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