hdy 发表于 2025-7-31 01:05

Micron2025报告:半导体制造工艺简介

这份PPT是Micron公司关于半导体制造基础知识的文档,主要内容包括CMOS工艺流程、洁净室标准、晶圆加工区域以及半导体制造中的关键功能区域等内容,可能是为应届毕业生等新员工提供的培训文档,质量不错,可供参考。



报告主要结构
[*]制造工艺简介(基本概念、制造流程等)
[*]CMOS工艺流程(关键步骤、功能区域)





关键信息摘选
晶圆制造的基本介绍
课件先介绍了半导体制造的概念、洁净室标准、制造基本流程和加工区域等基础知识。


课件编制了制造环节的流程图,包括从起始材料(纯化硅)到制造(本文重点)再到测试封装。


CMOS工艺流程
课件展示了构建CMOS晶体管(NMOS和PMOS)以及接触和金属互连层的简化旅行者(Traveler)流程,列出了从晶圆开始到最终钝化沉积的完整步骤(约89个主要步骤)。
课件详细介绍了从晶圆开始到钝化物沉积的十来个关键工艺步骤,以及CMP、CVD等十来个功能区域。








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