半导体厂的振动产生的原因与隔绝震动方式
一、半导体厂振动产生的原因
半导体制造对环境的稳定性要求极高，微米级振动即可导致芯片良率大幅下降。振动来源可分为内部和外部两类，需结合工程设计与实时监测进行综合控制。
1. 内部振动源：生产设备的“隐形杀手”
• 动力设备运行：空调机组、真空泵、风机等设备因机械运动产生低频振动。例如，某Fab厂的风机转速超过3000转/分钟时，其振动频率可达50Hz，通过楼板传导至光刻机基座。
• 工艺设备动态：光刻机的步进电机、量测机台的扫描探头、机械手等高精度部件在高速运动时引发高频振动。以光刻机为例，其掩模台移动加速度达5g时，可能产生10-200Hz的振动波。
• 流体与气流扰动：洁净室气流设计不当会导致风管振动，甚至引发共振。某12英寸晶圆厂曾因空调管道紊流，导致薄膜沉积设备测量误差增加0.3%。
2. 外部振动源：难以忽视的环境干扰
• 交通与施工：厂区周边道路的重型车辆（如卡车）行驶时，地面振动可通过地基传递至车间。研究表明，距离厂区50米处的地铁施工可引发2-5μm/s的振动，直接影响量测机台精度。
• 自然因素：地震、强风等自然灾害虽概率低，但破坏性极强。2024年台湾某Fab厂因4级地震导致多台光刻机镜组偏移，直接损失超2亿元。
3. 结构与安装缺陷：被低估的隐患
• 楼板共振：现浇混凝土楼板若未设计隔振层，可能将设备振动放大1.5-2倍。某超硅半导体厂房因楼板固有频率（约15Hz）与真空泵振动频率重合，导致共振效应加剧。
• 设备安装误差：基座水平偏差超过0.1mm/m或螺栓预紧力不均，可能使设备运行时产生额外振动。例如，某蚀刻机因安装倾斜导致机械臂抖动，良率下降1.2%。
二、振动对半导体设备的致命影响
振动的危害不仅限于设备稳定性，更直接影响芯片性能和量产成本。
1. 光刻机：纳米级精度的“崩塌”
• 套刻误差：振动导致掩模与晶圆对位偏差。以EUV光刻机为例，0.5nm的位移即可造成14nm工艺节点芯片的图形重叠错误，良率下降30%。
• 镜组失稳：光刻机投影物镜系统由数十片镜片组成，振动可能改变镜片间距。某案例中，2Hz的微小振动使镜组热变形，导致曝光线宽不均匀。
2. 量测机台：数据失真的元凶
• 测量漂移：CD-SEM（关键尺寸扫描电镜）若受5Hz以上振动干扰，电子束聚焦精度下降，测量误差可达±0.2nm。某厂曾因振动导致薄膜厚度数据异常，误判整批晶圆报废。
• 设备宕机：KLA缺陷检测机台的激光干涉仪对振动极为敏感，0.1μm的位移即可触发系统保护性停机，单次宕机损失超百万元。
3. 工艺设备：良率的隐形杀手
• 薄膜沉积不均匀：CVD（化学气相沉积）设备若受振动影响，反应腔气流紊乱，导致膜厚偏差超过±1%。某28nm工艺项目因此被迫延长工艺调试周期3个月。
• 蚀刻速率波动：等离子体蚀刻机的电极振动可能改变等离子体分布，造成侧壁陡直度不达标。某14nm FinFET工艺中，振动导致鳍片高度差异达5nm，芯片性能严重下降。
三、半导体设备隔绝环境振动的方式、原理及实例
在半导体制造中，设备对振动极为敏感，需通过多种技术隔绝环境振动，确保精度与稳定性。以下是常见方式、原理及光刻机与量测机台的应用实例：
（一）隔绝振动的主要方式及原理
1. 空气弹簧隔振
◦ 原理：利用压缩空气形成弹性气膜，通过空气的可压缩性吸收振动能量，具有较低的固有频率，能有效隔离低频振动（如1-10Hz），同时具备良好的阻尼特性，可衰减振动传递。
◦ 优势：隔振效率高，可根据设备重量自动调整气压，维持水平状态，适用于对隔振要求极高的精密设备。
2. 防微振平台
◦ 原理：由高刚性隔振平台板、主被动防微振单元（如阻尼器、弹簧）等组成。正常状态下过滤环境微振动，地震时消耗能量，减少位移。通过多单元协同，在不同频率段发挥隔振作用，例如高频时依靠刚性板阻抗，低频时通过弹性单元吸收。
◦ 优势：兼顾日常微振与突发震动防护，适用于半导体洁净厂房内的高精密设备。
3. 主动隔振系统
◦ 原理：通过传感器实时监测振动信号，经控制系统分析后，驱动执行器（如压电陶瓷、电磁装置）产生反向作用力抵消振动。例如，当传感器检测到某频率振动，系统立即生成反相振动波，实现“以动制振”。
◦ 优势：对低频振动（甚至0.2Hz以下）隔振效果显著，可动态适应不同振动环境。
4. 气浮减振器
◦ 原理：利用气体（如空气）在密闭空间形成悬浮支撑，设备通过气膜与基础隔离。当振动传递时，气膜变形吸收能量，同时自动水平控制器可调整气压，保持设备平衡。
◦ 优势：隔振精度高，适用于桥式量测机等对水平度和稳定性要求高的设备。
（二）光刻机的隔振实例
以光刻机为例，采用空气弹簧隔振+主动控制方案：
• 光刻机底部安装多个空气弹簧，将镜组与厂房基础物理隔离，大幅衰减地面传来的低频振动（如车辆行驶、厂房设备运行引起的振动）。
• 配合内部主动隔振系统，通过高精度传感器监测镜组振动，实时调整空气弹簧气压与内部阻尼参数，抵消残留振动。例如，当检测到外部施工引起的2-5Hz振动，系统迅速响应，确保镜组位移控制在0.1nm以内，避免曝光图案失真，保障晶圆加工精度。
（三）量测机台的隔振实例
以某型号量测机台为例，其采用气浮减振器+主动隔振系统组合：
• 量测机台底部安装气浮减振器，利用气体在密闭空间形成悬浮支撑，通过6bar压缩空气形成气膜，将设备与基础隔离。当环境振动传递时，气膜变形吸收能量，同时自动水平控制器调整气压，保持设备平衡，有效隔离1.2Hz以上的环境振动，确保测量探头的稳定性。
• 同时配备主动隔振系统，通过高精度传感器实时监测振动信号。当检测到如空调系统、风机引起的高频微振动（100 - 1000Hz）或低频振动时，系统经分析后驱动执行器产生反向作用力抵消振动。例如，在检测到外部低频振动时，主动隔振系统迅速生成反相振动波，使测量误差从±0.5nm稳定至±0.1nm，满足半导体量测对精度的严苛要求。
这些隔振技术的综合应用，有效保障了半导体设备在复杂环境中的精度与稳定性，是高端芯片制造不可或缺的支撑手段。
四、典型案例：从危机到解决方案
案例1：光刻机镜组抗震升级
2024年，某头部晶圆厂引进新型EUV光刻机后，频繁出现套刻误差。经分析，厂房空调系统引发2-5Hz低频振动。解决方案包括：
1. 为光刻机加装二级气浮隔振平台，振动传递率降低至0.5%；
2. 空调管道改用柔性连接，振动幅度减少70%；
3. 引入自适应控制算法，动态补偿镜组位移，良率恢复至99.5%。
案例2：量测机台振动溯源
某14nm产线的CD-SEM出现周期性数据漂移。振动分析发现，其根源是相邻的真空泵未安装隔振基座。整改措施包括：
1. 真空泵基座加装弹簧减振器，振动加速度从100μg降至10μg；
2. CD-SEM启用气浮模式，测量误差稳定在±0.1nm内；
3. 建立振动数据看板，实现设备状态的实时可视化监控。
五、未来趋势：智能化与国产化并进
• AI驱动的预测性维护：通过机器学习分析历史振动数据，提前3-6个月预警设备故障。某试点项目将意外停机率降低60%。
• 国产隔振设备突破：上海微电子推出自主研制的磁悬浮隔振平台，性能对标Herz AVI系列，成本降低40%。
• 量子传感技术：基于金刚石NV色心的量子加速度计，分辨率达10^-9g，为纳米级振动控制提供新可能。
振动控制——半导体制造的“隐形战场”
从气浮平台的微米级调整到厂房设计的宏观布局，振动控制贯穿半导体制造的全链条。这项技术虽不直接塑造晶体管结构，却决定了每一颗芯片的生死存亡。正如业界所言：“纳米工艺的竞争，从控制振动开始。”在未来，随着工艺节点逼近物理极限，振动控制将不再只是辅助技术，而是半导体工业的核心竞争力之一。
振动隔离百科介绍
振动隔离是指防止振动从系统的一个组件传递到同一系统的其他部分（如建筑物或机械系统）。在许多领域中，振动是不受欢迎的，主要是工程系统和居住空间，因此人们开发了各种方法来防止振动传递到这些系统。振动通过机械波传播，某些机械连接比其他连接更有效地传导振动。被动振动隔离利用吸收和阻尼这些机械波的材料和机械连接，而主动振动隔离则涉及传感器和执行器，产生破坏性干扰以抵消传入的振动。
被动隔离
“被动振动隔离”是指通过橡胶垫或机械弹簧等被动技术来隔离或减轻振动，而不是采用电力、传感器、执行器和控制系统的“主动振动隔离”或“电子力抵消”。
被动振动隔离是一个广泛的主题，因为有许多类型的被动隔振器用于许多不同的应用场景。其中一些应用包括工业设备，如泵、电机、HVAC系统或洗衣机；土木工程结构的地震隔离（基础隔离）、敏感的实验室设备、贵重的雕像和高端音响等。
以下是对被动隔离的工作原理、常见被动隔振器类型以及影响被动隔振器选择的主要因素的基本理解：
常见被动隔离系统
1. 气动或空气隔振器
这些是压缩空气气囊或罐。需要压缩空气源来维持它们。空气弹簧是提供阻尼和隔离的橡胶气囊，用于大型卡车。一些气动隔振器可以达到低共振频率，用于隔离大型工业设备。空气桌由安装在气腿上的工作面或光学表面组成，在某些条件下为实验室仪器提供足够的隔离。气动系统在真空条件下可能泄漏，气罐可能会干扰低振幅振动的隔离。
2. 机械弹簧和弹簧阻尼器
这些是用于建筑系统和工业的重型隔振器。有时它们作为混凝土块的支座，提供进一步的隔离。
3. 柔性材料垫或片（如弹性体、橡胶、软木、高密度泡沫和层压材料）
弹性体垫、高密度闭孔泡沫和层压材料通常用于重型机械下、普通家用物品下、车辆中，甚至高性能音响系统下[需要引用]。
4. 模制和粘结橡胶及弹性体隔振器和支架
这些通常用作机械（如发动机）支架或车辆部件，吸收冲击并衰减部分振动。
5. 负刚度隔振器
负刚度隔振器比其他类型少见，通常用于引力波检测等高级研究应用。Lee、Goverdovskiy和Temnikov（2007）提出了一种用于隔离车辆座椅的负刚度系统。
负刚度隔振器的重点在于开发固有频率极低（低于1Hz）的系统，以便充分隔离低频振动，这对精密仪器至关重要。所有高频振动也会被隔离。负刚度系统可以设计成低静摩擦，因此能有效隔离低振幅振动。
负刚度机制完全是机械的，通常涉及梁或倒摆等组件的配置和加载。在其工作范围内，负刚度机制的加载越大，固有频率越低。
6. 钢丝绳隔振器
这些隔振器耐用，能承受极端环境，常用于军事应用。
7. 建筑、桥梁等的抗震基础隔振器
由氯丁橡胶和钢层制成的低水平刚度基础隔振器用于降低建筑物的固有频率。其他一些基础隔振器设计为滑动，防止能量从地面传递到建筑物。
8. 调谐质量阻尼器
调谐质量阻尼器减少建筑物或其他结构中的谐波振动影响。通过附加一个相对较小的质量，使其能够阻尼结构的非常窄的振动频带。
9. 简易自制隔振器在较简单的解决方案中，松紧带可用作廉价的隔离系统，可能对某些应用足够有效。待隔离的物品通过松紧带悬挂。如果没有隔离物品掉落的风险，这很难实现。切开的网球曾被用在洗衣机和其他物品下，取得了一定成功。事实上，网球成为DIY锐舞/DJ文化中的默认标准悬挂技术，放置在每个唱机转盘的支脚下，产生足够的阻尼来抵消高功率音响系统的振动对唱机针的精密高灵敏度机制的影响。
被动隔离的工作原理
被动隔离系统（如减震支架）通常包含质量、弹簧和阻尼元件，并作为谐波振荡器运动。质量和弹簧刚度决定了系统的固有频率，阻尼会导致能量耗散，并对固有频率产生次要影响。
每个支撑在柔性支座上的物体都有一个基本固有频率。当施加振动时，能量在固有频率下传递效率最高，在固有频率以下效率稍低，在固有频率以上效率逐渐降低（效率降低）。这可以从传递率曲线中看出，该曲线是传递率与频率的关系图。
以下是传递率曲线的一个例子。传递率是被隔离表面的振动与振源的振动之比。振动永远不会被消除，但可以大大减少。下图显示了固有频率为0.5Hz的被动负刚度隔离系统的典型性能。该曲线的一般形状是被动系统的典型特征。在固有频率以下，传递率徘徊在1附近。值为1意味着振动通过系统时没有被放大或减少。在共振频率下，能量传递效率高，传入的振动被放大。系统中的阻尼限制了放大水平。在共振频率以上，几乎没有能量可以传递，曲线下降到较低的值。被动隔振器可被视为振动的机械低通滤波器。通常，对于固有频率以上的任何给定频率，固有频率较低的隔振器比固有频率较高的隔振器表现出更强的隔离效果。给定情况下的最佳隔离系统取决于存在的振动频率、方向和幅度，以及这些频率的期望衰减水平。
现实世界中的所有机械系统都包含一定量的阻尼。阻尼会耗散系统中的能量，从而降低在固有频率下传递的振动水平。汽车减震器中的流体是一种阻尼器，弹性体（橡胶）发动机支架中的固有阻尼也是如此。被动隔振器中使用阻尼来减少固有频率下的放大倍数。然而，增加阻尼往往会降低高频下的隔离效果。随着阻尼的增加，传递率衰减减少。这可以在下图中看到。
阻尼对传递率的影响
被动隔离双向工作，隔离有效载荷免受来自支座的振动，也隔离支座免受来自有效载荷的振动。洗衣机、泵和发电机等大型机器会引起建筑物或房间的振动，因此通常需要与地板隔离。然而，建筑物中的振动源很多，通常不可能隔离每个源。在许多情况下，最有效的方法是将每个敏感仪器与地板隔离。有时需要同时采用这两种方法。
在超级游艇中，发动机和交流发电机会产生噪音和振动。解决方案是双重弹性悬架，发动机和交流发电机通过减震器安装在公共框架上，然后将其弹性安装在公共框架和船体之间。
影响被动隔振器选择的因素
• 待隔离物品的特性
◦ 尺寸：待隔离物品的尺寸有助于确定可用和合适的隔离类型。小物体可能只需要一个隔振器，而较大的物品可能需要多个隔振器系统。
◦ 重量：待隔离物体的重量是选择正确被动隔离产品的重要因素。单个被动隔振器设计用于特定的负载范围。
◦ 运动：带有运动部件的机器或仪器可能会影响隔离系统。了解运动部件的质量、速度和行程很重要。
• 工作环境
◦ 工业环境：通常涉及宽频强振动和一定量的灰尘。
◦ 实验室：实验室有时会受到相邻机械、人员走动或HVAC气流引起的特定建筑振动的困扰。
◦ 室内或室外：隔振器通常针对一种环境设计。
◦ 腐蚀性/非腐蚀性：由于腐蚀性化学物质的存在，某些室内环境可能对隔振器部件构成腐蚀危险。在室外，需要考虑水和盐环境。
◦ 洁净室：某些隔振器可适配洁净室环境。
◦ 温度：通常，隔振器设计用于人类环境的正常温度范围。如果需要更大的温度范围，可能需要修改隔振器设计。
◦ 真空：某些隔振器可用于真空环境，气动隔振器可能有泄漏问题。真空环境通常包括一定程度的洁净室要求，也可能有较大的温度范围。
◦ 磁性：一些需要振动隔离的实验也需要低磁环境，部分隔振器可设计为低磁性组件。
◦ 声噪声：某些仪器对声振动敏感，部分隔离系统可能被声噪声激发，可能需要使用隔音罩。空气压缩机可能产生 problematic 声噪声、热量和气流。
• 静态或动态负载
◦ 静态负载：基本上是待隔离物体的重量加上低振幅振动输入，如建筑物（正常条件下）或实验室仪器。
◦ 动态负载：涉及加速度和较大振幅的冲击和振动，如车辆、重型机械和运动显著的结构。
• 成本
◦ 隔离成本：包括隔离系统本身（标准或定制产品）、所需的压缩空气源、运输、安装、维护以及确定隔离需求的初始振动现场调查。
◦ 不同隔离系统的相对成本：廉价的减震支架可能因动态负载循环而需要更换。在较低振动频率和幅度下有效的更高级别隔离通常成本更高。价格范围从几美元的松紧带到某些太空应用的数百万美元不等。
• 调整与维护
◦ 调整：一些隔离系统需要手动调整以补偿重量负载、重量分布、温度和气压的变化，而其他系统则设计为自动补偿部分或全部这些因素。
◦ 维护：部分隔离系统耐用，几乎无需维护；其他可能因部件机械疲劳或材料老化需要定期更换。
• 尺寸限制
隔离系统可能需要安装在实验室、真空室或机器外壳的受限空间内。
• 待隔离或减轻的振动特性
◦ 频率：若可能，了解环境振动的频率很重要，可通过现场调查或加速度计数据经FFT分析确定。
◦ 振幅：将现有振动频率的振幅与要求水平比较，以确定是否需要隔离。此外，隔振器针对特定振幅范围设计，某些隔振器对极小振幅无效。
◦ 方向：了解振动是水平还是垂直有助于有针对性地进行隔离并节省成本。
◦ 设备振动规格：许多仪器或机器有制造商指定的工作环境振动水平，若振动超过规格，制造商可能不保证仪器正常运行。
非营利组织如ASHRAE（美国采暖、制冷与空调工程师协会）和VISCMA（振动隔离与地震控制制造商协会）提供隔振器类型和弹簧挠度要求的规范/标准，涵盖电气、机械、管道和HVAC等广泛行业。
被动隔振器对比
负刚度振动隔振器
负刚度机制（NSM）振动隔离系统提供了一种独特的被动方法，可实现低振动环境和亚赫兹振动隔离。“突变”或“过中心”NSM装置用于降低弹性悬架的刚度，创建具有低固有频率的紧凑型六自由度系统。实际系统的垂直和水平固有频率可低至0.2至0.5Hz。机电自动调节机构补偿变化的重量负载，并在多个隔振器系统中提供自动调平，类似于气动系统中的调平阀功能。全金属系统可配置为兼容高真空和高温等不利环境。
这些隔离系统使扫描探针显微镜、显微硬度计和扫描电子显微镜等振动敏感仪器能够在恶劣振动环境中运行（如建筑高层或洁净室），而气动隔离系统在此类环境中可能不实用。同样，它们使振动敏感仪器能够产生比气动隔振器更好的图像和数据[需要引用]。
NSM振动隔离系统的工作原理概述、典型系统和应用描述以及测量性能数据见参考文献1和2[需要澄清]。
垂直运动隔离
垂直运动隔振器使用传统弹簧连接到NSM，NSM由两根在中心铰接的杆组成，其外端由枢轴支撑，并通过力P压缩加载。如图1所示，弹簧通过重量W压缩至隔振器的工作位置。隔振器的刚度为K=KS-KN，其中KS是弹簧刚度，KN是负刚度的大小，它是杆长和载荷P的函数。当弹簧支撑重量W时，隔振器刚度可接近零。
水平运动隔离
由两个梁柱组成的水平运动隔振器如图2所示。每个梁柱表现为两个固定-自由梁柱，轴向承受重量载荷W。无重量载荷时，梁柱具有水平刚度KS；有重量载荷时，横向弯曲刚度因“梁柱效应”而降低。这种行为相当于水平弹簧与NSM结合，因此水平刚度为K=KS-KN，其中KN是梁柱效应的大小。通过加载梁柱使其接近临界屈曲载荷，水平刚度可接近零。
六自由度（six-DOF）隔离
六自由度NSM隔振器通常使用三个串联的隔振器：倾斜运动隔振器位于水平运动隔振器之上，水平运动隔振器位于垂直运动隔振器之上。图3（需要参考）显示了一个振动隔离系统的示意图，该系统由一个加权平台支撑，该平台由一个包含图1和图2所示隔振器的单个六自由度隔振器支撑（图1和图2缺失）。柔性元件用于代替图1中的铰接杆，倾斜柔性元件用作倾斜运动隔振器。垂直刚度调节螺钉用于调整负刚度柔性元件上的压缩力，从而改变垂直刚度。垂直负载调节螺钉用于通过升高或降低支撑弹簧的底座来调整变化的重量负载，使柔性元件保持笔直、未弯曲的工作位置。
支撑接头的振动隔离
设备或其他机械部件必然与周围物体相连（支撑接头-与支座相连；非支撑接头-管道或电缆），因此可能产生不必要的振动传递。使用适当设计的振动隔离器（吸收器）可实现支撑接头的振动隔离。附图显示了在振动隔离器上安装功能齿轮前后测量的宽频率范围内的振动水平衰减。
振动隔离器
振动隔离器被定义为一种反射和吸收振荡能量波的装置，该能量来自工作机械或电气设备，预期效果是振动隔离。目标是在传递机械波动的物体和支撑体（如机器和基础）之间建立振动隔离。图示为俄罗斯造船业（如“圣彼得堡”号潜艇）使用的«ВИ»系列振动隔离器。所示«ВИ»装置允许5、40和300 kg的载荷，物理尺寸不同，但设计原理相同。该结构由橡胶外壳和内部弹簧增强组成。在制造过程中，橡胶和弹簧通过硫化工艺紧密且永久地连接在一起。在机器重量载荷作用下，橡胶外壳变形，弹簧被压缩或拉伸，因此在弹簧横截面方向，包裹的橡胶发生扭曲。橡胶外壳的弹性变形导致非常有效的振动吸收，这对可靠的振动隔离至关重要，因为它避免了共振效应的可能性。橡胶的弹性变形量在很大程度上决定了可实现的振动吸收幅度，整个装置（包括弹簧本身）的设计必须考虑这一点。振动隔离器的设计除了日常振动外，还必须考虑潜在的冲击载荷。最后，振动隔离器还必须设计为长期耐用，并便于集成到其使用环境中。通常采用套筒和法兰将振动隔离器牢固地固定到设备和支撑基础上。
非支撑接头的振动隔离
非支撑接头的振动隔离在名为“隔振支管”的装置中实现。
隔振支管是具有弹性壁的管道的一部分，用于反射和吸收从工作泵通过管道壁传来的振荡能量波，设置在泵和管道之间。图示为«ВИПБ»系列隔振支管的图像，其结构中使用了由弹簧增强的橡胶外壳，特性与振动隔离器外壳相似，该装置可将内部压力引起的轴向力降低至零。
副车架隔离
增加隔离的另一种技术是使用隔离副车架，这通过附加质量/弹簧/阻尼器系统将系统分开。这使高频衰减滚降加倍，但代价是引入额外的低频模式，可能导致低频性能恶化。这常用于独立后悬挂（IRS）汽车的后悬挂和某些汽车的前副车架。图表（见插图）显示了刚性螺栓固定在车身上的副车架与柔性安装副车架（红色曲线）传递到车身的力。在42Hz以上，柔性安装副车架表现更优，但在该频率以下，螺栓固定副车架更好。
半主动隔离
半主动振动隔振器因功耗低于主动装置且可控性优于被动系统而受到关注。
主动隔离
主动振动隔离系统除弹簧外，还包含由传感器（如压电加速度计或检波器）、控制器和执行器组成的反馈回路。加速度（振动）信号由控制电路和放大器处理，然后馈送到电磁执行器，放大信号。通过这种反馈系统，与普通阻尼相比，振动抑制效果显著增强。如今，主动隔离用于需要制造或测量小于微米级结构的应用场景。多家公司作为OEM生产主动隔离产品，应用于研究、计量、光刻和医疗系统。另一个重要应用是半导体行业，在微芯片生产中，最小结构已低于20纳米，因此制造和检测设备的振动必须尽可能小。
Sensors for active isolation
[*]Piezoelectric accelerometers and force sensors
[*]MEM accelerometers
[*]Geophones
[*]Proximity sensors
[*]Interferometers
Actuators for active isolation
[*]Linear motors
[*]Pneumatic actuators
[*]Piezoelectric motors
主动隔离的传感器
• 压电加速度计和力传感器
• MEM加速度计
• 检波器
• 接近传感器
• 干涉仪
主动隔离的执行器
• 直线电机
• 气动执行器
• 压电电机
术语对照
• Passive vibration isolation：被动振动隔离
• Active vibration isolation：主动振动隔离
• Natural frequency：固有频率
• Transmissibility curve：传递率曲线
• Negative-stiffness isolators：负刚度隔振器
• Pneumatic isolators：气动隔振器
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