晶圆切割膜。。。。
今天情绪没有控制好,工艺加工有时候也是玄学,突然出问题,找不到原因。记得之前在工厂做PE,最开始做LED产品,一进厂就处理电压高的问题,一直没有找到准确的原因,据说还是阶段性的,天气热,问题更严重,也不知道后来解决没。项目进展一般,没有特别惊艳的结果,跟客户battle半天切割的问题,正好整理下最近碰到的切割膜。目前主流的切割方式主要有两种,砂轮切割和激光切割,切割过程中会用到蓝膜或者UV膜,长这个样子。1. 蓝膜特有的蓝色设计,便于在加工中识别。通常将晶圆贴到蓝膜上,放到烘箱中进行烘烤,增强蓝膜的粘性,防止在切割过程中,芯粒被冲跑,切个寂寞。2. UV膜是一种通过紫外线(UV)固化技术处理的特殊保护膜,外观是白色,通常UV膜的价格要比蓝膜高。切割后要对UV膜进行解胶处理,方便取片。不建议将芯粒放置在UV膜上太长时间,时间越长,芯粒与UV膜之间的粘性会增加,不利于后续取片。3. 一般根据UV膜的特性,选择合适的照射工艺,与切割的芯粒大小无关。UV膜的特性包括,膜层厚度,粘性层厚度,紫外前紫外后的粘性数据,横向,纵向拉伸强度等。4. 蓝膜主要优势是经济实惠,操作简单,不留胶,通常可作为临时保护使用。若切割后还有其它工艺步骤,比如AOI检测等,通常选择UV膜。
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