hdy 发表于 2025-5-22 22:03

国外报告分享：半导体工艺之光刻技术入门


这份报告涵盖光刻工艺的概述、光刻胶、涂覆工艺、预烘烤、曝光工艺、显影等内容，介绍比较详细，需要入门或复习基础的同学可以参考。



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