shuszhao 发表于 2021-3-28 08:32

宽禁带材料测试

宽禁带材料是指禁带宽度大于2.3eV的半导体材料,以Ⅲ-Ⅴ族材料,SiC等最为常见。随着电子电力的发展,功率器件的使用越来越多,SiC、GaN等被广泛应用于射频与超高压等领域。此外,为适应特高压输电、电动汽车充电桩等超高压应用,可以承受更高电压的超宽禁带半导体,如碳化硅、氧化镓等的研究也在逐渐深入,宽禁带材料一直是研究方向的热点。在半导体材料的研究中,电阻率、载流子密度和迁移率是测试的关键参数。
https://www.ednchina.com/d/file/news/2021-03-26/5b52652a9b08f885df897cf9eaa5e00c.jpghttps://www.ednchina.com/d/file/news/2021-03-26/6c8caf78e126c12fcabeaf52740b7f09.jpg

宽禁带材料测试挑战

宽禁带材料的带隙较大,击穿电场较高。超禁带材料击穿电场更高。因此需要上千伏高压源表进行测试。

https://www.ednchina.com/d/file/news/2021-03-26/d53e3bcf3458bb54e777c32f573b4b3e.png功率器件带隙较宽,稳定性好,受温度影响较小,所以也是高流器件的制备材料。电流特性的测试,需要用到几十安培的高流源表。
四线法及霍尔效应测试均是加流测压的过程,需要设备能输出电流并且测试电压,这意味着同时需要电流源和电压表。
电阻率及电子迁移率通常范围较大,需要电流电压范围都很大的设备。
电流源和电压表精度要高,保证测试的准确性。
https://www.ednchina.com/d/file/news/2021-03-26/6cd5056738ba271793dc8be951eaf72d.png

电阻率测试方法:

四探针测试法
测试载台:四探针测试台


载流子浓度及迁移率测试方法:

霍尔效应测试法
测试载台:磁场设备及探针台


中功率测试设备:

测试设备:4200A-SCS


高功率测试方案:

测试设备:2600-PCT


泰克优势:

高压3kV,高流100A高精度源表;
SMU模块集电压源/电压表/电流源/电流表于一体,集成度高,方便使用;
SMU均配有开尔文接口,在测试小电阻时可有效消除线缆电阻的影响;
4200A设备电流输出精度40fA;电流测试精度10fA;电压测试精度80µV;
带有pulse工作模式,使用pulse测试可以消除自加热效应;
开放设备底层指令,附带编译软件,支持自编程;
提供高压高流测试夹具,保证测试安全。
了解当代材料电学测试更多详细内容,

lonelycolor 发表于 2021-3-28 08:34

几乎白看

red_chen 发表于 2021-3-28 08:39

好厉害 fA的单位

小鑫鑫 发表于 2021-3-28 08:39

oyyp 发表于 2021-3-28 08:46

lqsgg 发表于 2021-3-28 08:50

热带雨林 发表于 2021-3-28 08:58

davis8051 发表于 2021-3-28 09:32

。在半导体材料的研究中,电阻率、载流子密度和迁移率是测试的关键参数。

rain-fine 发表于 2021-3-28 10:37

bidezhi7777 发表于 2021-3-28 11:14

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